Toote kategooria
Võtke meiega ühendust

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co., Ltd.


Aadress:

Tehase nr 19, TusPark, Century Avenue

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Hiina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-post:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Teenuse hotline
029 3358 2330

Vanadiumi pihustamise sihtmärk, kõrge puhtusastmega, monoliitsed, pööratavad, pöörlevad, silindrilised, tasapinnalised, katoodkaar, PVD-kattekiht, peenfilmide ladestumine, magnetron V pihustusmärgid

Haohai on spetsialiseerunud kõrge puhtusastmega vanadiumi pihustusmaterjalide tootmisele, millel on võimalikult suur tihedus ja väikseim võimalik keskmine terasuurus, mida saab kasutada pooljuhtide, füüsikaliste aurude sadestamise (PVD) kuvaril ja optilistel rakendustel. Meie vaniidiumipurumismäärad õhukeseks kile jaoks on saadaval monobloki pöörleva, tasapinnalise sihtmärgi või eri kujuga ja mõõtmetega tasapinnaliste sihtmärkidega.

Toote üksikasjad


VANADIUMI VÄLTIMISE TARGET


Vanadium on pehme ja plastiline, hõbehall metall. Sellel on tugev lekete, väävelhappe ja vesinikkloriidhappega korrosioonikindlus. See oksüdeerub kergesti umbes 933 K (660 ° C) juures. Vanadiumil on hea struktuurne tugevus ja vähese lõhustumise neutroni ristlõige, mis muudab selle kasulikuks tuumaenergia rakendustes. Kuigi metall on jagatud kroomi ja mangaaniga, on omadus omada happelisi omadusi omavaid valentsi oksiide.

 

Haohai on spetsialiseerunud kõrge puhtusastmega vanadiumi pihustusmaterjalide tootmisele, millel on võimalikult suur tihedus ja väikseim võimalik keskmine terasuurus, mida saab kasutada pooljuhtide, füüsikaliste aurude sadestamise (PVD) kuvaril ja optilistel rakendustel. Meie vaniidiumipurumismäärad õhukeseks kile jaoks on saadaval monobloki pöörleva, tasapinnalise sihtmärgi või eri kujuga ja mõõtmetega tasapinnaliste sihtmärkidega.

 

Haohai vanaadiumi pihustamise sihtmärkide hulka kuuluvad vanadiumist monoliitsed pööratavad pihustamiskatsed, vanadioni tasapinnalised pihustamiskatsed ja vanadiumkatoodilised sihtmärgid.




Vanadiumi pöörlev (pööratav, silindriline) pihustamismärk


Tootmisklass

OD (mm)

ID (mm)

Pikkus (mm)

Kohandatud valmistatud

50-300

30 - 280

100-4000


Spetsifikatsioon

Kompositsioon

V

Puhtus

2N5 (99,5%), 2N7 (99,7%), 3N (99,9%), 3N5 (99,95%), 4N (99,99%)

Tihedus

6,11 g / cm3

Teravilja suurused

<80 mikroni="" või="" soovi="">

Valmistamise protsessid

Vaakum sulatus, sepistamine, ekstrudeerimine, mehaaniline töötlemine, liimimine

Kuju

Sirge, koera luu

Lõpptüübid

SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, Beakert, GPI Lõpeb Fixation, Spiral Groove,

Kohandatud valmistatud

Pind

Ra 1,6 mikronit


Muu spetsifikatsioon

✦ Aurutõbi rasvendatakse ja eemaldatakse pärast lõplikku töötlemist

ID tuleb HONED ja OD GROUND pärast toortuba tootmist, et tagada ID OD kontsentrilisus vastab joonise nõuetele.

Kõrge vaakumkindel, lekkekiirus mis tahes kohas, mis ei ületa 1 x 10 -8 STD CC / SEC.

✦ Hermeetiliselt plastist, ümbritsetud vahtmaterjaliga, et kaitsta ja tihendite pinda kaitsta


Normaalsed suurused

Vanadion Rotary

Sputtering Target

Normaalsed suurused

80 mm ID x 100 mm OD x pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 895 mm pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 1172 mm pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 1290 mm pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 1676 mm pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 1940 mm pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 2420 mm pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 3191 mm pikk

125 mm ID x 153 mm OD x 3852 mm pikk


Titaaniplaanilise koostisega võrreldes on Haohai titaanist silindrilise pihustamise eesmärgid:

Suuremad erosiooni tsoonid, mis annavad materjale 2 kuni 2,5 korda.

Pikem eluiga, mis vähendab vaheldamise ja kambri hooldamise seisakuid.

Kohandatud tootmine monoliitsetes, segmenteeritud või termiliste pihustatud vormides.

Lõpp-omadused, mis on täpselt töödeldud üksikute katoodisüsteemi kujunduste jaoks.

Vähendada omandi maksumust suurte pindmiste katmisoperatsioonide jaoks.

mitmesuguseid materjale, sealhulgas.

Optimaalne terasuurus ja ühtlane mikrostruktuur tagavad protsessi järjepidevuse kogu elu lõppedes.

Täielik homogeensus ja kõrge puhtusastmega toodang on järjepidevad.

Võimaldada teadus- ja arendustegevuse ulatuslikuks tootmiseks mis tahes suurusega materjale.




Vanadia planar (ristkülik, ümmargune) pihustamismärk


Tootmisklass

Ristkülik

Pikkus (mm)

Laius (mm)

Paksus (mm)

Kohandatud valmistatud

10 - 2000

10 - 600

1.0 - 25

Ringkiri

Läbimõõt (mm)


Paksus (mm)

10 - 400


1.0 - 25

 

Spetsifikatsioon

Kompositsioon

V

Puhtus

2N5 (99,5%), 3 N (99,9%), 3,5 N (99,95%), 4 N (99,99%)

Tihedus

6,11 g / cm3

Teravilja suurused

<80 mikroni="" või="" soovi="">

Valmistamise protsessid

Vaakum sulatus, sepistamine, rullimine, mehaaniline töötlus

Kuju

Plaat, ketas, samm, allapoole keeramine, keermestamine, kohandatud valmistamine

Tüüp

Monoliitne, mitut segmenteeritud sihtmärk, liimimine

Pind

Ra 1,6 mikroni või soovi korral

 

Muud spetsifikatsioonid

  Veendume ühes ja samas terasuunas mitmes segmenteeritud ehitusosas.

  Tasasus, puhas pind, poleeritud, pragune, õli, punkt jne.




Vanadiaarkkaotod

Pakume vanaadiumi pöörleva ja tasapinnalise kaare katoodeid, aga ka vanadiumi pöörlevaid ja tasapinnalisi pihustamiskohti




Meie vanadiumi lõhkemis- ja katikoodide jaoks


Tolerants

Acc. Joonistele või taotlusele.


Lisandid Sisaldus [ppm]

Vanadia puhtus [%]

Elemendid

2N5

[99.5]

3N5

[99,95]

Metallilised lisandid [μg / g]

Al

350

50

Ca

200

50

Cr

100

50

Cu

50

50

Fe

800

200

Mai

500

130

NI

300

50

Si

800

150

Sn

100

30

Ti

250

150

Mittemetallilised lisandid [μg / g]

C

150

50

O

400

200

H

30

20

N

200

50

Garanteeritud tihedus [g / cm 3 ]

6.11

6.11

Tera suurus [μm]

80

80

Soojusjuhtivus [W / (mK)]

30,7

30,7

Soojuspaisumistegur [1 / K]

8,4 -6

8,4 -6


Analüütilised meetodid:

1. Metallilisi elemente analüüsiti GDMSi abil (GDMS-i mõõtmiste tüüpiline täpsus ja eelarvamused on kirjeldatud ASTM F1593-s).

2. Gaasielemente analüüsiti LECO GAASI ANALÜSERI abil.

C, S, mille määrab põlemis-lR

N, H määrab IGF-TC

O määrab kindlaks IGF-NDIR


Taotlus

✦ Suurepinna klaaskate

Elektroonikatööstus

Kulumiskindel kate

Dekoratiivne kate



Hot Tags: Vanadiumi pihustamiskoht, kõrge puhtusastmega, monoliitsed, pööratavad, pöörlevad, silindrilised, tasapinnalised, katoodkaarad, pvd kattekiht, õhukese kihi ladestumine, magnetron v ähvardused, tootjad, tarnijad, tehased, tootjad, hulgimüük, hind, osta, suurus, liimimine, Kõrge kvaliteet, kõrge puhtusastmega, kõrge kasutamise määr
Seonduvad tooted
Küsitlus