Toote kategooria
Võtke meiega ühendust

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co., Ltd.


Aadress:

Tehase nr 19, TusPark, Century Avenue

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Hiina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-post:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Teenuse hotline
029 3358 2330

Tehnoloogia

Kodu > TehnoloogiaSisu

VÄLISVALDKONDADE LAHENDUSED

1003.jpg


VÄLISVALDKONDADE LAHENDUSED


Magnetriipihustus on vaakumküttesüsteem õhukeste kilede paigutamiseks klaasile. 1960. aastate lõpul olid nende leiutised läbinud arengupingutusi. Kõige olulisemad tehnoloogilised edusammud on pöörlevad silindrilised magnetronid ja arenenud pöörlevad silindrilised pihustamiskohad. Need kaks paralleelset arengut võimaldavad tootjatel suurendada katte läbilaskevõimet ja vähendada kulusid, säilitades samas kihi kvaliteedi ja paksuse järjepidevuse.


Me teame, et pööratav magnetronipurk on kõige ökonoomsem ja tulemustepõhine protsess, mis on tänapäeval saadaval tänu märkimisväärsetele T & A edusammudele tehnoloogia, protsessi ja inseneri valdkonnas. Planeeritud magnetroni pihustamise tehnoloogiate paljusid puudujääke saab pöörleva silindrilise tehnoloogia vastuvõtmise ja rakendamise abil ületada. Pöörleva silindrilise magnetroni pihustusmeetodi kasutamisel on kolm olulist eelist, mis hõlmavad: paremat materiaalset inventuuri, kõrgemat kasutusotstarbe ja võimalust kolmekordistada võimsustihedust, mille tagajärjeks on palju kiiremini pihustamiskiirused või keerukamad korpused.


 1001.jpg


Pöörlevad pihustamismäärad

Kuna turu huvi magnetronipursega vaakumkatte järele kasvab, suureneb seega ka tootmise sihtmärk. Termiline pihusti on pritsmete sihtmärkide valmistamiseks eelistatud tehnoloogia, sest see pakub väga keerukaid tootmisnõudeid arvestades suuri võimalusi. Kolm parameetrit mõjutavad otseselt omandi kogukulu:

Materjalide koostis: legeeritud materjale saab valmistada nii stöhhiomeetrilistes kui ka mittestöhhiomeetrilistes kompositsioonides ilma faasiagrammide piirideta, mis võimaldavad ettevõtjatel välja töötada spetsiifilisi katteid, mida ei saa klassikaliste sihtimissüsteemide abil valmistada. Termiline pihustamine ei pea termilise pihustamise puhul arvestama piiratud lahustuvusega seotud piiranguid. Mõlema materjali segu võib töödelda, lihtsalt segades sobivaid fraktsioone enne pihustamist.

Laiendatud katvus: peaaegu kõiki materjale võib pihustada, alates sulamispunkti metallidest kuni kõrge sulamistemperatuuriga keraamika.

Sihtmärgi paindlikkus: Pikaealised (koera luukujulised ) eesmärgid suurendavad materjali paksust mõlemas otsas. Selle tagajärjel on kõrge materjali sihtmärgi kasutamine võimalik enamiku materjalide ja erinevate sihtmärkide pikkusega (kuni 152 tolli) ning neid on kerge valmistada.

✦ Kilekompositsioon : tüüpiliste õhukeste kilede ja katete, näiteks SnO2, TiO2, SiO2 ja Si3N4, valmistamiseks võib kasutada täiustatud silindrilisi sihttuli.

 

1002.jpg


Siin on mõned spetsiaalsed pöörlevad silindrilised sihtmärgid, mida kasutatakse laialdaselt õhukeste kilede katmiseks:

 

Räni alumiiniumi sihtmärgid

SiO2 ja Si3N4 õhukesed kiud on pihustatud Si (Al) sihtmärkidest. Si (Al) sihtmärkide edukas tootmine termilise pihustiga aitab ära kasutada peamisi pihustusprotsessi funktsioone. Eesmärgi geomeetriaga kaasnev paindlikkus võimaldab sihtmärgi läbimõõdu, pikkuse ja sirge või koera luu sihtmärkide laias vahemikus, maksimeerides samal ajal sihtrõhu võimsust, suurendades sihtkihi paksust kuni 9 mm. Alumiiniumdopandi tase võib olla vahemikus 0 kuni 19 kaaluprotsenti, kontrollides lõplikku keemilist koostist. Muutudes standardsetest 6 mm paksustest sihtmärkidest kuni uude 9 mm sihtmärgini (mis sisaldab 50% rohkem materjali), saab katte kulusid vähendada kuni 3% võrra ja võrgustumisvõimalust saab suurendada 5% võrra, sest on vähem sihtvahetusi.

 

Suure tihedusega tina

Standardsetele termiliselt pihustatud tina sihtmärkidele on 90% nõutavast teoreetilisest tihedusest, mille hinnanguline hapnikusisaldus on 2000 ppm. Siiski on termopesu tehnoloogia edusammud kaasa toonud uue suure tihedusega tina sihtmärgi, saavutades enam kui 98% vajalikust teoreetilisest tihedusest koos hapnikusisaldusega alla 250 ppm. See eelneb kombineerib kõrge tihedusega struktuuridega termopesu tehnoloogiaga kaasnevaid eeliseid. Suurema tihedusega tina sihtmärgi spektrikäitumine, mis on defineeritud kaare kiiruse, põlemiskäitumise, sadestumise määra ja voolu- / pingeomaduste poolest, näitab suurepärast jõudlust. Täiustatud termiline pihustamine võimaldab terade morfoloogiat, tera orientatsiooni ja materjali tihedust täpselt reguleerida. Need paindlikud kohandused optimeerivad jõudlust, et tekitada spetsiifilisi äravoolu või katte omadusi, mille tulemuseks on märkimisväärne kulude kokkuhoid.

 

Titaanoksiid

Täiuslik näide sellest, kuidas termiline pihustamine annab lisandväärtusega sihtmärgiks oleva produkti, on TiOx-i sihtmärkide tootmine. Esiteks, protsesside kõrged temperatuurid võimaldavad keraamilist titaanoksiidi sulamist. Samal ajal titaanoksiid läbib protsessi gaaside osalise vähendamise, muutes selle elektrit juhtivaks faasiks. Kõrged jahutuskambrid jäävad juhtivaks toatemperatuuril. See materjal suurendab märkimisväärselt stabiilsust reaktsioonivõimeliste protsesside käigus, ilma et oleks vaja tagasisideprotsessi juhtimissüsteemi, kuid see parandab ikkagi pihustamise sadestumise kiirust.

 

Indium-tinaoksiid

Indium-tinaoksiid on üks disainiturul saadaval olevatest läbipaistvatest juhtivatest oksiididest. Rakendused hõlmavad lamekuvareklaase nagu LCD, PDP ja OLED, milles indiumi tinaoksiidkiht on läbipaistev

elektrood. Klaaskeraamilised sihtmärgid koosnevad ühest või mitmest metallplaadile kinnitatud plaadist. Täna on plahvatuslik keraamiline sihtmärk reaktiivse DC magnetroni tuhvatuse sadestamiseks kõige enam kasutatavaks meetodiks indium-tinoksiidi (ITO) kattekihtide sadestamiseks klaasist ja plastist substraatidelt. Hoolimata oma populaarsusest on tasapinnalistel eesmärkidel nende planeeritud struktuuri tõttu mitu sisemist piirangut.


Pöörlevad silindrilised ITO eesmärgid lahendavad paljusid planeeritud keraamiliste ITO sihtmärkide piiranguid. Mõned selle omapärased eelised on järgmised:

Suurem kasulik sihtmärkide loetelu ja sihtmärgi materjalide kasutamise suurendamine, mis mõlemad põhjustavad masinate seisakuid.

Suurenenud protsessi stabiilsus reaktiivse sadestumise korral.

Parem jahutus, mis suurendab võimsustihedust ja suurendab sadestumise määra.

Esialgsed välitestid on näidanud, et omandi kogumaksumust saab vähendada rohkem kui 40% ruutmeetri kohta, samal ajal kui eesmärkide kasutamine kahekordistub.